Defect transformation study in silicon-on-insulator structures by high-resolution X-Ray diffraction: Fid-Bau Portal

Defect transformation study in silicon-on-insulator structures by high-resolution X-Ray diffraction

Popov, V. P. / Antonova, I. V. / Bak-Misiuk, J. / Domagala, J.

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Titel:

Defect transformation study in silicon-on-insulator structures by high-resolution X-Ray diffraction

Beteiligte:

Popov, V. P. (Autor:in) / Antonova, I. V. (Autor:in) / Bak-Misiuk, J. (Autor:in) / Domagala, J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 4 ; 35-37

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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