Control of Al-implantation doping in 4H-SiC: Fid-Bau Portal

Control of Al-implantation doping in 4H-SiC

Pernot, J. / Camassel, J. / Contreras, S. / Robert, J. L. / Bluet, J. M. / Michaud, J. F. / Billon, T.

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Titel:

Control of Al-implantation doping in 4H-SiC

Beteiligte:

Pernot, J. (Autor:in) / Camassel, J. (Autor:in) / Contreras, S. (Autor:in) / Robert, J. L. (Autor:in) / Bluet, J. M. (Autor:in) / Michaud, J. F. (Autor:in) / Billon, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 80 ; 362 - 365

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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