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Oxidation of ion implanted silicon carbide

Makhtari, A. / Raineri, V. / La Via, F. / Franzo, G. / Frisina, F. / Calcagno, L.

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Titel:

Oxidation of ion implanted silicon carbide

Beteiligte:

Makhtari, A. (Autor:in) / Raineri, V. (Autor:in) / La Via, F. (Autor:in) / Franzo, G. (Autor:in) / Frisina, F. (Autor:in) / Calcagno, L. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 4 ; 345-349

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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