Laser annealing of SiOx thin films: Fid-Bau Portal

Laser annealing of SiOx thin films

Gallas, B. / Kao, C. C. / Fisson, S. / Vuye, G. / Rivory, J. / Bernard, Y. / Belouet, C.

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Titel:

Laser annealing of SiOx thin films

Beteiligte:

Gallas, B. (Autor:in) / Kao, C. C. (Autor:in) / Fisson, S. (Autor:in) / Vuye, G. (Autor:in) / Rivory, J. (Autor:in) / Bernard, Y. (Autor:in) / Belouet, C. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 185 ; 317-320

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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