Influence of laser annealing on SiOx films properties: Fid-Bau Portal

Influence of laser annealing on SiOx films properties

Gavrylyuk, O. O. / Semchuk, O. Y. / Steblova, O. V. / Evtukh, A. A. / Fedorenko, L. L. / Bratus, O. L. / Zlobin, S. O. / Karlsteen, M.

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Titel:

Influence of laser annealing on SiOx films properties

Beteiligte:

Gavrylyuk, O. O. (Autor:in) / Semchuk, O. Y. (Autor:in) / Steblova, O. V. (Autor:in) / Evtukh, A. A. (Autor:in) / Fedorenko, L. L. (Autor:in) / Bratus, O. L. (Autor:in) / Zlobin, S. O. (Autor:in) / Karlsteen, M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 336 ; 217-221

Erscheinungsdatum:

01.01.2015

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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