Super self-aligned technology of ultra-shallow junction in MOSFETs using selective Si1-xGex CVD: Fid-Bau Portal

Super self-aligned technology of ultra-shallow junction in MOSFETs using selective Si1-xGex CVD

Yamashiro, T. / Kikuchi, T. / Ishii, M. / Honma, F. / Sakuraba, M. / Matsuura, T. / Murota, J. / Tsuchiya, T.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Super self-aligned technology of ultra-shallow junction in MOSFETs using selective Si1-xGex CVD

Yamashiro, T. / Kikuchi, T. / Ishii, M. / Honma, F. / Sakuraba, M. / Matsuura, T. / Murota, J. / Tsuchiya, T.

Super self-aligned technology of ultra-shallow junction in MOSFETs using selective Si1-xGex CVD

Yamashiro, T. / Kikuchi, T. / Ishii, M. / Honma, F. / Sakuraba, M. / Matsuura, T. / Murota, J. / Tsuchiya, T.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Super self-aligned technology of ultra-shallow junction in MOSFETs using selective Si1-xGex CVD

Beteiligte:

Yamashiro, T. (Autor:in) / Kikuchi, T. (Autor:in) / Ishii, M. (Autor:in) / Honma, F. (Autor:in) / Sakuraba, M. (Autor:in) / Matsuura, T. (Autor:in) / Murota, J. (Autor:in) / Tsuchiya, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 89 ; 120 - 124

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Koh, K. W. / Oh, H. J. / Choi, H. et al. | British Library Online Contents | 2002

Self-Aligned N+ Polysilicon-Gate GaN MOSFETs

Matocha, K. / Chow, T. P. / Gutmann, R. J. | British Library Online Contents | 2004

Ultra-Shallow Junction Formation Using Rapid Thermal Processing

Jain, A. | British Library Online Contents | 2008

Room temperature oxidation of Cu3Ge and Cu3(Si1-xGex) on Si1-xGex

Liang, H. H. / Luo, J. S. / Lin, W. T. | British Library Online Contents | 2001

Laser thermal processing using an optical coating for ultra shallow junction formation

Hernandez, M. / Venturini, J. / Berard, D. et al. | British Library Online Contents | 2004

Nach oben