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    Titel:

    Rapid thermal oxidation of epitaxial SiGe thin films

    Beteiligte:

    Terrasi, A. (Autor:in) / Scalese, S. (Autor:in) / Adorno, R. (Autor:in) / Ferlito, E. (Autor:in) / Spadafora, M. (Autor:in) / Rimini, E. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 89 ; 269 - 273

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2002

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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