Microfabrication of crosslinked polytetrafluoroethylene using synchrotron radiation direct photo-etching: Fid-Bau Portal

Microfabrication of crosslinked polytetrafluoroethylene using synchrotron radiation direct photo-etching

Katoh, T. / Yamaguchi, D. / Satoh, Y. / Ikeda, S. / Aoki, Y. / Washio, M. / Tabata, Y.

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Titel:

Microfabrication of crosslinked polytetrafluoroethylene using synchrotron radiation direct photo-etching

Beteiligte:

Katoh, T. (Autor:in) / Yamaguchi, D. (Autor:in) / Satoh, Y. (Autor:in) / Ikeda, S. (Autor:in) / Aoki, Y. (Autor:in) / Washio, M. (Autor:in) / Tabata, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 186 ; 24-28

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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