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    Dokumentinformationen
    Titel:

    4H- and 6H-SiC MOSFETs Fabricated on Sloped Sidewalls Formed by Molten KOH Etching

    Beteiligte:

    Wahab, Q. (Autor:in) / Kosugi, H. (Autor:in) / Yano, H. (Autor:in) / Hallin, C. (Autor:in) / Kimoto, T. (Autor:in) / Matsunami, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 389/393 ; 1215-1218

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2002

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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