Compatibility of VJFET Technology with MESFET Fabrication and Its Interest for System Integration: Fabrication of 6H and 4H-SiC 110 V Lateral MESFET: Fid-Bau Portal

Compatibility of VJFET Technology with MESFET Fabrication and Its Interest for System Integration: Fabrication of 6H and 4H-SiC 110 V Lateral MESFET

Tournier, D. / Godignon, P. / Montserrat, J. / Planson, D. / Chante, J. P. / Sarrus, F.

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Titel:

Compatibility of VJFET Technology with MESFET Fabrication and Its Interest for System Integration: Fabrication of 6H and 4H-SiC 110 V Lateral MESFET

Beteiligte:

Tournier, D. (Autor:in) / Godignon, P. (Autor:in) / Montserrat, J. (Autor:in) / Planson, D. (Autor:in) / Chante, J. P. (Autor:in) / Sarrus, F. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 389/393 ; 1403-1406

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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