Homoepitaxial Growth of 4H-SiC on Porous Substrate Using Bis-Trimethylsilylmethane Precursor: Fid-Bau Portal

Homoepitaxial Growth of 4H-SiC on Porous Substrate Using Bis-Trimethylsilylmethane Precursor

Jeong, J. K. / Um, M. Y. / Na, H. J. / Kim, B. S. / Song, I. B. / Kim, H. J.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Homoepitaxial Growth of 4H-SiC on Porous Substrate Using Bis-Trimethylsilylmethane Precursor

Jeong, J. K. / Um, M. Y. / Na, H. J. / Kim, B. S. / Song, I. B. / Kim, H. J.

Homoepitaxial Growth of 4H-SiC on Porous Substrate Using Bis-Trimethylsilylmethane Precursor

Jeong, J. K. / Um, M. Y. / Na, H. J. / Kim, B. S. / Song, I. B. / Kim, H. J.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Homoepitaxial Growth of 4H-SiC on Porous Substrate Using Bis-Trimethylsilylmethane Precursor

Beteiligte:

Jeong, J. K. (Autor:in) / Um, M. Y. (Autor:in) / Na, H. J. (Autor:in) / Kim, B. S. (Autor:in) / Song, I. B. (Autor:in) / Kim, H. J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 389/393 ; 267-270

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Song, H. K. / Um, M. Y. / Na, H. J. et al. | British Library Online Contents | 2004

Homoepitaxial Growth of Vanadium-Doped 4H-SiC Using Bis-Trimethylsilylmethane and Verrocene Precursors

Song, H. K. / Seo, H. S. / Moon, J. H. et al. | British Library Online Contents | 2007

Schottky Barrier Diode Fabricated by MOCVD-Grown Epilayer Using Bis-Trimethylsilylmethane Precursor

Song, H.K. / Lee, J.H. / Oh, M.S. et al. | British Library Online Contents | 2009

Homoepitaxial Growth of 4H-SiC Using a Chlorosilane Silicon Precursor

MacMillan, M. F. / Loboda, M. J. / Chung, G. et al. | British Library Online Contents | 2006

Homoepitaxial Growth of 4H-SiC Using CH~3Cl Carbon Precursor

Koshka, Y. / Lin, H. D. / Melnychuk, G. et al. | British Library Online Contents | 2005

Nach oben