Synthesis of ZrO2 thin films by atomic layer deposition: growth kinetics, structural and electrical properties: Fid-Bau Portal

Synthesis of ZrO2 thin films by atomic layer deposition: growth kinetics, structural and electrical properties

Cassir, M. / Goubin, F. / Bernay, C. / Vernoux, P. / Lincot, D.

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Titel:

Synthesis of ZrO2 thin films by atomic layer deposition: growth kinetics, structural and electrical properties

Beteiligte:

Cassir, M. (Autor:in) / Goubin, F. (Autor:in) / Bernay, C. (Autor:in) / Vernoux, P. (Autor:in) / Lincot, D. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 193 ; 120-128

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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