Fluid pressure and its effects on chemical mechanical polishing: Fid-Bau Portal

Fluid pressure and its effects on chemical mechanical polishing

Zhou, C. / Shan, L. / Robert Hight, J. / Ng, S. H. / Danyluk, S.

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Titel:

Fluid pressure and its effects on chemical mechanical polishing

Beteiligte:

Zhou, C. (Autor:in) / Shan, L. (Autor:in) / Robert Hight, J. (Autor:in) / Ng, S. H. (Autor:in) / Danyluk, S. (Autor:in)

Erschienen in:

WEAR -LAUSANNE- ; 253 ; 430-437

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0043-1648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11292

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