Round robin study of chlorine, sulfur and carbon in copper films from Taiwan SIMS users: Fid-Bau Portal

Round robin study of chlorine, sulfur and carbon in copper films from Taiwan SIMS users

Chen, C. Y. / Ling, Y. C. / Hwang, J. F. / Lee, J. H. / Wen, M. L. / Hwang, M. C. / Lin, G. C. / Deng, R. C.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Round robin study of chlorine, sulfur and carbon in copper films from Taiwan SIMS users

Chen, C. Y. / Ling, Y. C. / Hwang, J. F. / Lee, J. H. / Wen, M. L. / Hwang, M. C. / Lin, G. C. / Deng, R. C.

Round robin study of chlorine, sulfur and carbon in copper films from Taiwan SIMS users

Chen, C. Y. / Ling, Y. C. / Hwang, J. F. / Lee, J. H. / Wen, M. L. / Hwang, M. C. / Lin, G. C. / Deng, R. C.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Round robin study of chlorine, sulfur and carbon in copper films from Taiwan SIMS users

Beteiligte:

Chen, C. Y. (Autor:in) / Ling, Y. C. (Autor:in) / Hwang, J. F. (Autor:in) / Lee, J. H. (Autor:in) / Wen, M. L. (Autor:in) / Hwang, M. C. (Autor:in) / Lin, G. C. (Autor:in) / Deng, R. C. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 203-204 ; 461-464

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

Simons, D. / Kim, K. / Benbalagh, R. et al. | British Library Online Contents | 2006

SIMS round-robin study of depth profiling of arsenic implants in silicon

Tomita, M. / Hasegawa, T. / Hashimoto, S. et al. | British Library Online Contents | 2003

Round-Robin Test Results

Llano-Torre, Aitor / Serna, Pedro | Springer Verlag | 2021

Evaluation of BN-delta-doped multilayer reference materials for shallow depth profiling in SIMS: round-robin test

Toujou, F. / Yoshikawa, S. / Homma, Y. et al. | British Library Online Contents | 2004

Round-Robin Study for Field Permeability Test

Cooley, L. A. / Maghsoodloo, S. / National Research Council | British Library Conference Proceedings | 2002

Nach oben