Round-robin study of arsenic implant dose measurement in silicon by SIMS: Fid-Bau Portal

Fachinformationsdienst BAUdigital

Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik

Round-robin study of arsenic implant dose measurement in silicon by SIMS

Simons, D. / Kim, K. / Benbalagh, R. / Bennett, J. / Chew, A. / Gehre, D. / Hasegawa, T. / Hitzman, C. / Ko, J. / Lindstrom, R.

Zugriff

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Zugriff über TIB

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Round-robin study of arsenic implant dose measurement in silicon by SIMS

Simons, D. / Kim, K. / Benbalagh, R. / Bennett, J. / Chew, A. / Gehre, D. / Hasegawa, T. / Hitzman, C. / Ko, J. / Lindstrom, R.

Round-robin study of arsenic implant dose measurement in silicon by SIMS

Simons, D. / Kim, K. / Benbalagh, R. / Bennett, J. / Chew, A. / Gehre, D. / Hasegawa, T. / Hitzman, C. / Ko, J. / Lindstrom, R.

Zugriff

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Zugriff über TIB

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Round-robin study of arsenic implant dose measurement in silicon by SIMS

Beteiligte:

Simons, D. ( Autor:in ) / Kim, K. ( Autor:in ) / Benbalagh, R. ( Autor:in ) / Bennett, J. ( Autor:in ) / Chew, A. ( Autor:in ) / Gehre, D. ( Autor:in ) / Hasegawa, T. ( Autor:in ) / Hitzman, C. ( Autor:in ) / Ko, J. ( Autor:in ) / Lindstrom, R. ( Autor:in )

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 252 ; 7232-7235

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

© Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

Ähnliche Titel

SIMS round-robin study of depth profiling of arsenic implants in silicon

Tomita, M. / Hasegawa, T. / Hashimoto, S. et al. | British Library Online Contents | 2003

Round robin study of chlorine, sulfur and carbon in copper films from Taiwan SIMS users

Chen, C. Y. / Ling, Y. C. / Hwang, J. F. et al. | British Library Online Contents | 2003

Round-Robin Test Results

Llano-Torre, Aitor / Serna, Pedro | Springer Verlag | 2021

Round robin on uncertainty in sound insulation measurement

Critchley, I. C. / Dunbavin, P. / Lawrence, R. et al. | British Library Conference Proceedings | 2007

Evaluation of BN-delta-doped multilayer reference materials for shallow depth profiling in SIMS: round-robin test

Toujou, F. / Yoshikawa, S. / Homma, Y. et al. | British Library Online Contents | 2004