Charge compensation using optical conductivity enhancement and simple analytical protocols for SIMS of resistive Si1-xGex alloy layers: Fid-Bau Portal

Charge compensation using optical conductivity enhancement and simple analytical protocols for SIMS of resistive Si1-xGex alloy layers

Dowsett, M. G. / Morris, R. / Chou, P. F. / Corcoran, S. F. / Kheyrandish, H. / Cooke, G. A. / Maul, J. L. / Patel, S. B.

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Titel:

Charge compensation using optical conductivity enhancement and simple analytical protocols for SIMS of resistive Si1-xGex alloy layers

Beteiligte:

Dowsett, M. G. (Autor:in) / Morris, R. (Autor:in) / Chou, P. F. (Autor:in) / Corcoran, S. F. (Autor:in) / Kheyrandish, H. (Autor:in) / Cooke, G. A. (Autor:in) / Maul, J. L. (Autor:in) / Patel, S. B. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 203-204 ; 500-503

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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