Quantitative analysis of the top 5 nm of boron ultra-shallow implants: Fid-Bau Portal

Quantitative analysis of the top 5 nm of boron ultra-shallow implants

Bellingham, J. / Dowsett, M. G. / Collart, E. / Kirkwood, D.

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Titel:

Quantitative analysis of the top 5 nm of boron ultra-shallow implants

Beteiligte:

Bellingham, J. (Autor:in) / Dowsett, M. G. (Autor:in) / Collart, E. (Autor:in) / Kirkwood, D. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 203-204 ; 851-854

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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