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    Titel:

    Kinematic Analysis of Chemical Mechanical Polishing and its Effect on Polishing Results

    Beteiligte:

    Kim, H. (Autor:in) / Jeong, H. (Autor:in) / Lee, S. (Autor:in) / Dornfeld, D. (Autor:in) / Gao, Y. / Tamaki, J. / Kitajima, K.

    Erschienen in:

    Advances in Abrasive Technology V ; 229-234

    KEY ENGINEERING MATERIALS

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2003

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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