Electrical properties of low-dielectric-constant films prepared by PECVD in O2/CH4/HMDSO: Fid-Bau Portal

Electrical properties of low-dielectric-constant films prepared by PECVD in O2/CH4/HMDSO

Borvon, G. / Goullet, A. / Mellhaoui, X. / Charrouf, N. / Granier, A.

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Titel:

Electrical properties of low-dielectric-constant films prepared by PECVD in O2/CH4/HMDSO

Beteiligte:

Borvon, G. (Autor:in) / Goullet, A. (Autor:in) / Mellhaoui, X. (Autor:in) / Charrouf, N. (Autor:in) / Granier, A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 5 ; 279-284

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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