Vibrational spectroscopy characterization of low-dielectric constant SiOC:H films prepared by PECVD technique: Fid-Bau Portal

Vibrational spectroscopy characterization of low-dielectric constant SiOC:H films prepared by PECVD technique

Das, G. / Mariotto, G. / Quaranta, A.

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Titel:

Vibrational spectroscopy characterization of low-dielectric constant SiOC:H films prepared by PECVD technique

Beteiligte:

Das, G. (Autor:in) / Mariotto, G. (Autor:in) / Quaranta, A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 7 ; 295-300

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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