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Properties including step coverage of TiN thin films prepared by atomic layer deposition

Kim, J. / Hong, H. / Oh, K. / Lee, C.

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Titel:

Properties including step coverage of TiN thin films prepared by atomic layer deposition

Beteiligte:

Kim, J. (Autor:in) / Hong, H. (Autor:in) / Oh, K. (Autor:in) / Lee, C. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 210 ; 231-239

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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