Deposition of Ti-containing diamond-like carbon (DLC) films by PECVD technique: Fid-Bau Portal

Deposition of Ti-containing diamond-like carbon (DLC) films by PECVD technique

Caschera, D. / Federici, F. / Kaciulis, S. / Pandolfi, L. / Cusmà, A. / Padeletti, G.

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Titel:

Deposition of Ti-containing diamond-like carbon (DLC) films by PECVD technique

Beteiligte:

Caschera, D. (Autor:in) / Federici, F. (Autor:in) / Kaciulis, S. (Autor:in) / Pandolfi, L. (Autor:in) / Cusmà, A. (Autor:in) / Padeletti, G. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -AMSTERDAM THEN LAUSANNE- C ; 27 ; 1328-1330

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0928-4931

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1 / 660

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