Characterization of Homoepitaxial 4H-SiC Layer Grown from Silane/Propane System: Fid-Bau Portal

Characterization of Homoepitaxial 4H-SiC Layer Grown from Silane/Propane System

Sartel, C. / Bluet, J. M. / Souliere, V. / El-Harrouni, I. / Monteil, Y. / Mermoux, M. / Guillot, G.

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Titel:

Characterization of Homoepitaxial 4H-SiC Layer Grown from Silane/Propane System

Beteiligte:

Sartel, C. (Autor:in) / Bluet, J. M. (Autor:in) / Souliere, V. (Autor:in) / El-Harrouni, I. (Autor:in) / Monteil, Y. (Autor:in) / Mermoux, M. (Autor:in) / Guillot, G. (Autor:in) / Bergman, P. / Janzen, E.

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials 2002 ; 165-168

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 433/436

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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