Comparative Studies of <0001> 4H-SiC Layers Grown with Either Silane or HexaMethylDisilane / Propane Precursor Systems: Fid-Bau Portal

Comparative Studies of <0001> 4H-SiC Layers Grown with Either Silane or HexaMethylDisilane / Propane Precursor Systems

Sartel, C. / Balloud, C. / Souliere, V. / Juillaguet, S. / Dazord, J. / Monteil, Y. / Camassel, J. / Rushworth, S.

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Titel:

Comparative Studies of <0001> 4H-SiC Layers Grown with Either Silane or HexaMethylDisilane / Propane Precursor Systems

Beteiligte:

Sartel, C. (Autor:in) / Balloud, C. (Autor:in) / Souliere, V. (Autor:in) / Juillaguet, S. (Autor:in) / Dazord, J. (Autor:in) / Monteil, Y. (Autor:in) / Camassel, J. (Autor:in) / Rushworth, S. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 457/460 ; 217-220

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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