Fabrication and Simulation of 4H-SiC PiN Diodes Having Mesa Guard Ring Edge Termination: Fid-Bau Portal

Fabrication and Simulation of 4H-SiC PiN Diodes Having Mesa Guard Ring Edge Termination

Sankin, I. / Dufrene, J. B. / Merrett, J. N. / Casady, J. B.

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Titel:

Fabrication and Simulation of 4H-SiC PiN Diodes Having Mesa Guard Ring Edge Termination

Beteiligte:

Sankin, I. (Autor:in) / Dufrene, J. B. (Autor:in) / Merrett, J. N. (Autor:in) / Casady, J. B. (Autor:in) / Bergman, P. / Janzen, E.

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials 2002 ; 879-882

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 433/436

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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