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    Titel:

    Absorption coefficient of oxide precipitates in silicon wafers after different three-step annealing

    Beteiligte:

    Sassella, A. (Autor:in) / Borghesi, A. (Autor:in) / Geranzani, P. (Autor:in) / Olmo, M. (Autor:in) / Porrini, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 102 ; 247-250

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2003

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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