Effect of annealing ambient on the thermal stability of Cu/Zr42Si9N49/Si contact system: Fid-Bau Portal

Effect of annealing ambient on the thermal stability of Cu/Zr42Si9N49/Si contact system

Wang, Y. / Zhu, C. / Song, Z. / Wu, C.

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Titel:

Effect of annealing ambient on the thermal stability of Cu/Zr42Si9N49/Si contact system

Beteiligte:

Wang, Y. (Autor:in) / Zhu, C. (Autor:in) / Song, Z. (Autor:in) / Wu, C. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 58 ; 2510-2513

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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