Radical Nitridation of Ultra-Thin SiO~2/SiC Structure: Fid-Bau Portal

Radical Nitridation of Ultra-Thin SiO~2/SiC Structure

Yano, H. / Furumoto, Y. / Niwa, T. / Hatayama, T. / Uraoka, Y. / Fuyuki, T.

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Titel:

Radical Nitridation of Ultra-Thin SiO~2/SiC Structure

Beteiligte:

Yano, H. (Autor:in) / Furumoto, Y. (Autor:in) / Niwa, T. (Autor:in) / Hatayama, T. (Autor:in) / Uraoka, Y. (Autor:in) / Fuyuki, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 457/460 ; 1333-1336

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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