Defects in He^+ Irradiated 6H-SiC Probed by DLTS and LTPL Measurements: Fid-Bau Portal

Defects in He^+ Irradiated 6H-SiC Probed by DLTS and LTPL Measurements

Ruggiero, A. / Libertino, S. / Mauceri, M. / Reitano, R. / Musumeci, P. / Roccaforte, F. / La Via, F. / Calcagno, L.

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Titel:

Defects in He^+ Irradiated 6H-SiC Probed by DLTS and LTPL Measurements

Beteiligte:

Ruggiero, A. (Autor:in) / Libertino, S. (Autor:in) / Mauceri, M. (Autor:in) / Reitano, R. (Autor:in) / Musumeci, P. (Autor:in) / Roccaforte, F. (Autor:in) / La Via, F. (Autor:in) / Calcagno, L. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 457/460 ; 493-496

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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