Numerical simulation of nanoparticle-generating electronegative plasmas in the PECVD of nanostructured silicon film: Fid-Bau Portal

Numerical simulation of nanoparticle-generating electronegative plasmas in the PECVD of nanostructured silicon film

Denysenko, I. / Ostrikov, K. / Rutkevych, P. P. / Xu, S.

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Titel:

Numerical simulation of nanoparticle-generating electronegative plasmas in the PECVD of nanostructured silicon film

Beteiligte:

Denysenko, I. (Autor:in) / Ostrikov, K. (Autor:in) / Rutkevych, P. P. (Autor:in) / Xu, S. (Autor:in)

Erschienen in:

COMPUTATIONAL MATERIALS SCIENCE. ; 30 ; 303-307

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0927-0256

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1 / 510

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