Backside and frontside depth profiling of B delta doping, at low energy, using new and previous magnetic SIMS instruments: Fid-Bau Portal

Backside and frontside depth profiling of B delta doping, at low energy, using new and previous magnetic SIMS instruments

Laugier, F. / Hartmann, J. M. / Moriceau, H. / Holliger, P. / Truche, R. / Dupuy, J. C.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Backside and frontside depth profiling of B delta doping, at low energy, using new and previous magnetic SIMS instruments

Laugier, F. / Hartmann, J. M. / Moriceau, H. / Holliger, P. / Truche, R. / Dupuy, J. C.

Backside and frontside depth profiling of B delta doping, at low energy, using new and previous magnetic SIMS instruments

Laugier, F. / Hartmann, J. M. / Moriceau, H. / Holliger, P. / Truche, R. / Dupuy, J. C.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Backside and frontside depth profiling of B delta doping, at low energy, using new and previous magnetic SIMS instruments

Beteiligte:

Laugier, F. (Autor:in) / Hartmann, J. M. (Autor:in) / Moriceau, H. (Autor:in) / Holliger, P. (Autor:in) / Truche, R. (Autor:in) / Dupuy, J. C. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 231/232 ; 668-672

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

Hongo, C. / Tomita, M. / Takenaka, M. et al. | British Library Online Contents | 2003

SIMS backside depth profiling of ultra shallow implants

Yeo, K. L. / Wee, A. T. / See, A. et al. | British Library Online Contents | 2003

Accurate depth profiling for ultra-shallow implants using backside-SIMS

Hongo, C. / Tomita, M. / Takenaka, M. | British Library Online Contents | 2004

Backside-SIMS profiling of dopants in thin Hf silicate film

Hongo, C. / Takenaka, M. / Kamimuta, Y. et al. | British Library Online Contents | 2004

Ultralow-energy SIMS for shallow semiconductor depth profiling

Chanbasha, A. R. / Wee, A. T. | British Library Online Contents | 2008

Nach oben