Hydrogen redistribution in CVD SiO~2 during post-oxidation annealing investigated by SIMS: Fid-Bau Portal

Hydrogen redistribution in CVD SiO~2 during post-oxidation annealing investigated by SIMS

Kawashima, Y. / Kawano, H. / Terashima, K. / Hamada, K. / Aoyagi, S. / Kudo, M.

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Titel:

Hydrogen redistribution in CVD SiO~2 during post-oxidation annealing investigated by SIMS

Beteiligte:

Kawashima, Y. (Autor:in) / Kawano, H. (Autor:in) / Terashima, K. (Autor:in) / Hamada, K. (Autor:in) / Aoyagi, S. (Autor:in) / Kudo, M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 231/232 ; 758-761

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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