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Technologies for Microdevice Packaging Packaging Requirements for MEMS and MOEMS

Pelzer, R. / Teomim, D. / Perlberg, G. / Dragoi, V.

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Titel:

Technologies for Microdevice Packaging Packaging Requirements for MEMS and MOEMS

Beteiligte:

Pelzer, R. (Autor:in) / Teomim, D. (Autor:in) / Perlberg, G. (Autor:in) / Dragoi, V. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED PACKAGING ; 13 ; 31-40

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

1065-0555

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 658.564

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