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    Titel:

    Sub-50nm gate length SOI transistor development for high performance microprocessors

    Beteiligte:

    Horstmann, M. (Autor:in) / Greenlaw, D. (Autor:in) / Feudel, T. (Autor:in) / Wei, A. (Autor:in) / Frohberg, K. (Autor:in) / Burbach, G. (Autor:in) / Gerhardt, M. (Autor:in) / Lenski, M. (Autor:in) / Stephan, R. (Autor:in) / Wieczorek, K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 114/115 ; 3-8

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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