Electrical activation of B and As implants in Silicon On Insulator (SOI) wafers: Fid-Bau Portal

Electrical activation of B and As implants in Silicon On Insulator (SOI) wafers

Ottaviano, L. / Italia, M. / Mannino, G. / Privitera, V. / Herden, M. / Feudel, T.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Electrical activation of B and As implants in Silicon On Insulator (SOI) wafers

Ottaviano, L. / Italia, M. / Mannino, G. / Privitera, V. / Herden, M. / Feudel, T.

Electrical activation of B and As implants in Silicon On Insulator (SOI) wafers

Ottaviano, L. / Italia, M. / Mannino, G. / Privitera, V. / Herden, M. / Feudel, T.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Electrical activation of B and As implants in Silicon On Insulator (SOI) wafers

Beteiligte:

Ottaviano, L. (Autor:in) / Italia, M. (Autor:in) / Mannino, G. (Autor:in) / Privitera, V. (Autor:in) / Herden, M. (Autor:in) / Feudel, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 114/115 ; 260-263

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Eymery, J. / Rieutord, F. / Fournel, F. et al. | British Library Online Contents | 2001

Gettering in silicon-on-insulator wafers with polysilicon layer

Savin, H. / Yli-Koski, M. / Haarahiltunen, A. et al. | British Library Online Contents | 2009

Integrity of functional self-assembled monolayers on hydrogen-terminated silicon-on-insulator wafers

Tian, F. / Ni, C. / Teplyakov, A. V. | British Library Online Contents | 2010

Electrical characterization of interfaces in unitype directly bonded silicon wafers

Fedotov, A. / Saad, A. M. / Enisherlova, K. et al. | British Library Online Contents | 2002

Electrical characteristics of oxygen precipitation related defects in Czochralski silicon wafers

Kirscht, F. G. / Furukawa, Y. / Seifert, W. et al. | British Library Online Contents | 1996

Nach oben