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    Titel:

    Advanced activation of ultra-shallow junctions using flash-assisted RTP

    Beteiligte:

    Lerch, W. (Autor:in) / Paul, S. (Autor:in) / Niess, J. (Autor:in) / McCoy, S. (Autor:in) / Selinger, T. (Autor:in) / Gelpey, J. (Autor:in) / Cristiano, F. (Autor:in) / Severac, F. (Autor:in) / Gavelle, M. (Autor:in) / Boninelli, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 124-125 ; 24-31

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2005

    Format / Umfang:

    8 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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