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Growth and characterization of MOMBE grown HfO2

Moon, T. H. / Ham, M. H. / Kim, M. S. / Yun, I. / Myoung, J. M.

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Titel:

Growth and characterization of MOMBE grown HfO2

Beteiligte:

Moon, T. H. (Autor:in) / Ham, M. H. (Autor:in) / Kim, M. S. (Autor:in) / Yun, I. (Autor:in) / Myoung, J. M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 240 ; 105-111

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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