Influence of AC-Voltage on the Crystallization of Amorphous Silicon Thin Film during Field Aided Lateral Crystallization Process: Fid-Bau Portal

Influence of AC-Voltage on the Crystallization of Amorphous Silicon Thin Film during Field Aided Lateral Crystallization Process

Choi, S. H. / Kim, Y. B. / Wang, Y. H. / Choi, D. K.

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Titel:

Influence of AC-Voltage on the Crystallization of Amorphous Silicon Thin Film during Field Aided Lateral Crystallization Process

Beteiligte:

Choi, S. H. (Autor:in) / Kim, Y. B. (Autor:in) / Wang, Y. H. (Autor:in) / Choi, D. K. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 475/479 ; 1861-1864

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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