Vertical SiGe-based silicon-on-nothing (SON) technology for sub-30nm MOS devices: Fid-Bau Portal

Vertical SiGe-based silicon-on-nothing (SON) technology for sub-30nm MOS devices

Thompson, P. E. / Jernigan, G. / Schulze, J. / Eisele, I. / Suligoj, T.

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Titel:

Vertical SiGe-based silicon-on-nothing (SON) technology for sub-30nm MOS devices

Beteiligte:

Thompson, P. E. (Autor:in) / Jernigan, G. (Autor:in) / Schulze, J. (Autor:in) / Eisele, I. (Autor:in) / Suligoj, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 8 ; 51-57

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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