High-performance (110)-surface strained-SOI MOSFETs: Fid-Bau Portal

High-performance (110)-surface strained-SOI MOSFETs

Mizuno, T. / Sugiyama, N. / Tezuka, T. / Moriyama, Y. / Nakaharai, S. / Maeda, T. / Takagi, S.

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Titel:

High-performance (110)-surface strained-SOI MOSFETs

Beteiligte:

Mizuno, T. (Autor:in) / Sugiyama, N. (Autor:in) / Tezuka, T. (Autor:in) / Moriyama, Y. (Autor:in) / Nakaharai, S. (Autor:in) / Maeda, T. (Autor:in) / Takagi, S. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 8 ; 327-336

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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