Differential Hall profiling of ultra-shallow junctions in Si and SOI: Fid-Bau Portal

Differential Hall profiling of ultra-shallow junctions in Si and SOI

Bennett, N. S. / Smith, A. J. / Colombeau, B. / Gwilliam, R. / Cowern, N. E. / Sealy, B. J.

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Titel:

Differential Hall profiling of ultra-shallow junctions in Si and SOI

Beteiligte:

Bennett, N. S. (Autor:in) / Smith, A. J. (Autor:in) / Colombeau, B. (Autor:in) / Gwilliam, R. (Autor:in) / Cowern, N. E. (Autor:in) / Sealy, B. J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 124-125 ; 305-309

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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