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Gate stack technology for nanoscale devices

Lee, B. H. / Oh, J. / Tseng, H. H. / Jammy, R. / Huff, H.

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Titel:

Gate stack technology for nanoscale devices

Beteiligte:

Lee, B. H. (Autor:in) / Oh, J. (Autor:in) / Tseng, H. H. (Autor:in) / Jammy, R. (Autor:in) / Huff, H. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS TODAY -OXFORD THEN KIDLINGTON- ; 9 ; 32-40

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

1369-7021

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11299

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