Heavy Water in Gate Stack Processing: Fid-Bau Portal

Heavy Water in Gate Stack Processing

Pap, A.E. / Ducso, C. / Kamaras, K. / Battistig, G. / Barsony, I.

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Titel:

Heavy Water in Gate Stack Processing

Beteiligte:

Pap, A.E. (Autor:in) / Ducso, C. (Autor:in) / Kamaras, K. (Autor:in) / Battistig, G. (Autor:in) / Barsony, I. (Autor:in) / Lerch, W. / Niess, J.

Erschienen in:

Rapid Thermal Processing and beyond: Applications in Semiconductor Processing ; 119-132

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 573/574

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

14 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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