Quantitative SIMS analysis of SiGe composition with low energy O2+ beams: Fid-Bau Portal

Quantitative SIMS analysis of SiGe composition with low energy O2+ beams

Jiang, Z. X. / Kim, K. / Lerma, J. / Corbett, A. / Sieloff, D. / Kottke, M. / Gregory, R. / Schauer, S.

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Titel:

Quantitative SIMS analysis of SiGe composition with low energy O2+ beams

Beteiligte:

Jiang, Z. X. (Autor:in) / Kim, K. (Autor:in) / Lerma, J. (Autor:in) / Corbett, A. (Autor:in) / Sieloff, D. (Autor:in) / Kottke, M. (Autor:in) / Gregory, R. (Autor:in) / Schauer, S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 252 ; 7262-7264

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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