Quantification of SiGe layer composition using MCs+ and MCs2+ secondary ions in ToF-SIMS and magnetic SIMS: Fid-Bau Portal

Quantification of SiGe layer composition using MCs+ and MCs2+ secondary ions in ToF-SIMS and magnetic SIMS

Marseilhan, D. / Barnes, J. P. / Fillot, F. / Hartmann, J. M. / Holliger, P.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Quantification of SiGe layer composition using MCs+ and MCs2+ secondary ions in ToF-SIMS and magnetic SIMS

Marseilhan, D. / Barnes, J. P. / Fillot, F. / Hartmann, J. M. / Holliger, P.

Quantification of SiGe layer composition using MCs+ and MCs2+ secondary ions in ToF-SIMS and magnetic SIMS

Marseilhan, D. / Barnes, J. P. / Fillot, F. / Hartmann, J. M. / Holliger, P.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Quantification of SiGe layer composition using MCs+ and MCs2+ secondary ions in ToF-SIMS and magnetic SIMS

Beteiligte:

Marseilhan, D. (Autor:in) / Barnes, J. P. (Autor:in) / Fillot, F. (Autor:in) / Hartmann, J. M. (Autor:in) / Holliger, P. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 1412-1414

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

Ähnliche Titel

Use of SIMS in SiGe process control

Maul, J. L. / Chou, P.-F. / Lu, Y. H. | British Library Online Contents | 2004

Quantitative SIMS analysis of SiGe composition with low energy O2+ beams

Jiang, Z. X. / Kim, K. / Lerma, J. et al. | British Library Online Contents | 2006

SIMS: Secondary Ion Mass Spectrometry

Kudo, M. / Nagayama, S. | British Library Online Contents | 1993

SIMS — Secondary Ion Mass Spectrometry

MacDonald, R. J. / King, B. V. | Springer Verlag | 1992

SIMS depth profiling and TEM imaging of the SIMS altered layer

Christofi, A. / Walker, J. F. / McPhail, D. S. | British Library Online Contents | 2008

Nach oben