Sputter depth profiling by secondary ion mass spectrometry coupled with sample current measurements: Fid-Bau Portal

Sputter depth profiling by secondary ion mass spectrometry coupled with sample current measurements

Bardi, U. / Chenakin, S. P. / Lavacchi, A. / Pagura, C. / Tolstogouzov, A.

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Titel:

Sputter depth profiling by secondary ion mass spectrometry coupled with sample current measurements

Beteiligte:

Bardi, U. (Autor:in) / Chenakin, S. P. (Autor:in) / Lavacchi, A. (Autor:in) / Pagura, C. (Autor:in) / Tolstogouzov, A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 252 ; 7373-7382

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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