Effect on Crystal Orientation on Residual Stress and Electrical Properties of a PZT Thin Film Deposited on Buffered-Si Substrate: Fid-Bau Portal

Effect on Crystal Orientation on Residual Stress and Electrical Properties of a PZT Thin Film Deposited on Buffered-Si Substrate

Fujito, K. / Wakiya, N. / Kiguchi, T. / Mizutani, N. / Shinozaki, K.

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Titel:

Effect on Crystal Orientation on Residual Stress and Electrical Properties of a PZT Thin Film Deposited on Buffered-Si Substrate

Beteiligte:

Fujito, K. (Autor:in) / Wakiya, N. (Autor:in) / Kiguchi, T. (Autor:in) / Mizutani, N. (Autor:in) / Shinozaki, K. (Autor:in)

Erschienen in:

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 320 ; 65-68

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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