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Microstructure of a Damascene sabre after annealing

Reibold, M. / Levin, A. A. / Meyer, D. C. / Paufler, P. / Kochmann, W.

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Titel:

Microstructure of a Damascene sabre after annealing

Beteiligte:

Reibold, M. (Autor:in) / Levin, A. A. (Autor:in) / Meyer, D. C. (Autor:in) / Paufler, P. (Autor:in) / Kochmann, W. (Autor:in)

Erschienen in:

INTERNATIONAL JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH ; 97 ; 1172-1182

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

11 pages

ISSN:

1862-5282

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 669.9

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