SiC Warm-Wall Planetary VPE Growth on Multiple 100-mm Diameter Wafers: Fid-Bau Portal

SiC Warm-Wall Planetary VPE Growth on Multiple 100-mm Diameter Wafers

Burk, A. A. / O Loughlin, M. J. / Paisley, M. J. / Powell, A. R. / Brady, M. F. / Leonard, R. T. / McClure, D. A.

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Titel:

SiC Warm-Wall Planetary VPE Growth on Multiple 100-mm Diameter Wafers

Beteiligte:

Burk, A. A. (Autor:in) / O Loughlin, M. J. (Autor:in) / Paisley, M. J. (Autor:in) / Powell, A. R. (Autor:in) / Brady, M. F. (Autor:in) / Leonard, R. T. (Autor:in) / McClure, D. A. (Autor:in) / Devaty, R. P. / Larkin, D. J. / Saddow, S. E.

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials - 2005 ; 159-162

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 527/529

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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