Microstructure array on Si and SiOx generated by micro-contact printing, wet chemical etching and reactive ion etching: Fid-Bau Portal

Microstructure array on Si and SiOx generated by micro-contact printing, wet chemical etching and reactive ion etching

Zhang, H. / Amro, N. A. / Disawal, S. / Elghanian, R. / Shile, R. / Fragala, J.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Microstructure array on Si and SiOx generated by micro-contact printing, wet chemical etching and reactive ion etching

Zhang, H. / Amro, N. A. / Disawal, S. / Elghanian, R. / Shile, R. / Fragala, J.

Microstructure array on Si and SiOx generated by micro-contact printing, wet chemical etching and reactive ion etching

Zhang, H. / Amro, N. A. / Disawal, S. / Elghanian, R. / Shile, R. / Fragala, J.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Microstructure array on Si and SiOx generated by micro-contact printing, wet chemical etching and reactive ion etching

Beteiligte:

Zhang, H. (Autor:in) / Amro, N. A. (Autor:in) / Disawal, S. (Autor:in) / Elghanian, R. (Autor:in) / Shile, R. (Autor:in) / Fragala, J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 1960-1963

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

Huang, H. / Guo, Z. / Wang, G. et al. | British Library Online Contents | 2014

Deep reactive ion etching: a promising technology for micro- and nanosatellites

Ayon, A. A. / Bayt, R. L. / Breuer, K. S. | British Library Online Contents | 2001

Deep reactive ion etching of PMMA

Zhang, C. / Yang, C. / Ding, D. | British Library Online Contents | 2004

Residual free reactive ion etching of the Bell contact Ti/Pt/Au

Franz, G. / Kachel, R. / Sotier, S. | British Library Online Contents | 2002

Reactive Ion Etching of Silicon Containing Resists

Hartney, M. A. / Hess, D. W. / Soane, D. S. | Springer Verlag | 1990

Nach oben